0.05ppm लेजर इंटरफेरोमीटर मापन प्रणाली 1nm रिज़ॉल्यूशन

1. मापने की विधि: एकल आवृत्ति

1. वायुमंडलीय तापमान संवेदक: ± 0.1 ℃ (0-40) ℃, संकल्प: 0.01 ℃

2. लेजर आवृत्ति सटीकता: 0.05ppm

2. सामग्री तापमान संवेदक: ± 0.1 ℃ (0-40) ℃, संकल्प: 0.01 ℃

3. गतिशील कैप्चर दर: 50kHz

3. वायुमंडलीय आर्द्रता सेंसर: ±5% (0-95%)

4. वार्म-अप समय: लगभग 6 मिनट

4. वायुमंडलीय दबाव संवेदक: ± 0.1kPa (65 ~ 115) kPa

5. ऑपरेटिंग तापमान: (0-40) ℃

6. पर्यावरण का तापमान: (0-40) ℃, आर्द्रता: 0-95%

7. भंडारण तापमान: -20 ℃ -70 ℃

1. मापने की सीमा: (0-80) मी

1. अक्षीय सीमा: (0-15) मी

2. मापने की सटीकता: 0.5ppm (0-40) ℃

2. मापने की सीमा: ±10°

3. मापने का संकल्प: 1nm

3. सटीकता: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R मान, इकाई का संकेत दे रहा है: ″;M लंबाई को m में मापा जाता है)

4. अधिकतम मापने की गति: 4 मी / एस

4. मापने का संकल्प: 0.1 "

1. अक्षीय सीमा: (0-15) मी

2. समतलता मापने की सीमा: ±1.5 मिमी

3. शुद्धता: ±(0.2%R+0.02M2) μm (आर μm में मान का संकेत दे रहा है; एम मीटर में लंबाई मापा जाता है)

4. सब्सट्रेट आकार: 180 मिमी समायोज्य, 360 मिमी समायोज्य

5. मापने का संकल्प: 0.1μm

लघु सीधापन

(0.1-4) मी

± 3.0 मिमी

± (0.5+0.25%आर+0.15M2)μm

0.01μm

लंबी सीधी

(1-20) मी

± 3.0 मिमी

± (5.0 + 2.5% आर + 0.015 एम 2) माइक्रोन

0.01μm

नोट: R μm में मान का संकेत दे रहा है;एम मीटर में लंबाई मापा जाता है

लघु सीधापन

(0.1-3) मी

± 3.0 मिमी

± (2.5+0.25%आर+0.8एम)μm/एम

0.01μm

लंबी सीधी

(1-15) मी

± 3.0 मिमी

± (2.5 + 2.5% आर + 0.08 एम) माइक्रोन / एम

0.01μm

नोट: R μm में मान का संकेत दे रहा है;एम मीटर में लंबाई मापा जाता है