| प्रोडक्ट का नाम: | SJ6000 लेजर इंटरफेरोमीटर मापन प्रणाली | रैखिक मापने की सीमा: | 0 ~ 80 मी |
|---|---|---|---|
| संकल्प: | 1nm | लेजर आवृत्ति सटीकता: | 0.05 पीपीएम |
| परिचालन तापमान:: | (0-40) ℃ | गतिशील कैप्चर दर:: | 50kHz |
| प्रमुखता देना: | 0.05ppm लेजर इंटरफेरोमीटर मापन प्रणाली,1nm लेजर इंटरफेरोमीटर मापन प्रणाली,1nm विस्थापन मापने वाला इंटरफेरोमीटर |
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लेजर इंटरफेरोमेट्री को उच्च परिशुद्धता, अत्यधिक संवेदनशील माप पद्धति के रूप में मान्यता प्राप्त है जो प्रकाश तरंग दैर्ध्य को एक मानदंड के रूप में उपयोग करती है, जिसका व्यापक रूप से उच्च अंत विनिर्माण में उपयोग किया जाता है।SJ6000 लेजर इंटरफेरोमीटर प्रणाली में एक अमेरिकी आपूर्तिकर्ता का उच्च आवृत्ति हेलियम-नीयन लेजर जनरेटर शामिल है, उच्च परिशुद्धता वाले पर्यावरणीय क्षतिपूर्ति मॉड्यूल, उन्नत लेजर हस्तक्षेप संकेत प्रसंस्करण, और एक उच्च प्रदर्शन कंप्यूटर नियंत्रण प्रणाली।
लेजर दोहरे अनुदैर्ध्य मोड और ज्यामितीय मापदंडों हस्तक्षेप ऑप्टिकल पथ डिजाइन के साथ थर्मल आवृत्ति स्थिरीकरण प्रौद्योगिकी का उपयोग, SJ6000 दीर्घकालिक स्थिर,उच्च परिशुद्धता (0.05ppm) लेजर आउटपुट लगभग 6 मिनट में, शक्तिशाली विरोधी हस्तक्षेप प्रदर्शन के साथ। विभिन्न प्रिज्म मॉड्यूल के साथ यह रैखिकता, कोण, सीधापन, सपाटता, लंबवतता,और गतिशील विशेषताओं का विश्लेषण करता है.
| सिस्टम पैरामीटर | पर्यावरणीय सेंसर |
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माप पद्धति:एकल आवृत्ति लेजर आवृत्ति सटीकताः0.05 पीपीएम गतिशील कैप्चर दर:50kHz गर्म करने का समय:~6 मिनट ऑपरेटिंग तापमानः0-40°C पर्यावरण:0-40°C, 0-95% आर्द्रता भंडारण तापमानः-20°C से 70°C तक |
वायुमंडलीय तापमानः±0.1°C (0-40°C), 0.01°C रिज़ॉल्यूशन सामग्री का तापमानः±0.1°C (0-40°C), 0.01°C रिज़ॉल्यूशन वायुमंडलीय आर्द्रता:± 5% (0-95%) वायुमंडलीय दबाव:±0.1kPa (65-115kPa) |
| रैखिक माप | कोण माप |
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माप सीमाः0-80 मीटर माप की सटीकता:0.5ppm (0-40°C) संकल्पः1 एनएम अधिकतम गतिः4m/s |
अक्षीय सीमाः0-15 मीटर माप सीमाः±10° सटीकता:±(0.02%R+0.1+0.24M) " संकल्पः0.1′′ R = संकेत मान (′′), M = मापी गई लंबाई (m)
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| समतलता माप | |
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| अक्षीय सीमाः0-15 मीटर | माप सीमाः±1.5 मिमी |
| सटीकता:± 0.2%R+0.02M2) μm | संकल्पः0.1μm |
| सब्सट्रेट का आकारः180mm समायोज्य, 360mm समायोज्य | |
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R = संकेत मूल्य (μm), M = मापी गई लंबाई (m)
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| सीधापन माप | संक्षिप्त सीधापन | लम्बी सीधी |
|---|---|---|
| अक्ष सीमा | 0.1-4 मीटर | 1-20 मीटर |
| माप सीमा | ±3.0 मिमी | ±3.0 मिमी |
| सटीकता | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| संकल्प | 0.01μm | 0.01μm |
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R = संकेत मूल्य (μm), M = मापी गई लंबाई (m)
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| लंबवतता माप | संक्षिप्त सीधापन | लम्बी सीधी |
|---|---|---|
| अक्ष सीमा | 0.1-3 मीटर | 1-15 मीटर |
| माप सीमा | ±3.0 मिमी | ±3.0 मिमी |
| सटीकता | ± ((2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | ± ((2.5+2.5%R+0.08M) μm/m |
| संकल्प | 0.01μm | 0.01μm |
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R = संकेत मूल्य (μm), M = मापी गई लंबाई (m)
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