| प्रोडक्ट का नाम: | SJ6000 लेजर इंटरफेरोमीटर मापन प्रणाली | रैखिक मापने की सीमा: | 0 ~ 80 मी |
|---|---|---|---|
| संकल्प: | 1nm | लेजर आवृत्ति सटीकता: | 0.05 पीपीएम |
| परिचालन तापमान:: | (0-40) ℃ | गतिशील कैप्चर दर:: | 50kHz |
| प्रमुखता देना: | सिंगल फ्रीक्वेंसी लेजर इंटरफेरोमीटर,0.05ppm मापने वाले उपकरण,1nm रिज़ॉल्यूशन मापने वाले उपकरण |
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लेजर इंटरफेरोमीटर एक उच्च परिशुद्धता, उच्च संवेदनशीलता माप विधि के रूप में मान्यता प्राप्त है जो प्रकाश तरंग दैर्ध्य को एक मानदंड के रूप में उपयोग करता है, जिसका व्यापक रूप से उच्च अंत विनिर्माण क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।SJ6000 लेजर इंटरफेरोमीटर प्रणाली में एक अमेरिकी आपूर्तिकर्ता का उच्च आवृत्ति हेलियम-नीयन लेजर जनरेटर शामिल है, उच्च परिशुद्धता वाले पर्यावरणीय क्षतिपूर्ति मॉड्यूल, उन्नत लेजर हस्तक्षेप संकेत प्रसंस्करण, और एक उच्च प्रदर्शन कंप्यूटर नियंत्रण प्रणाली।
लेजर दोहरी अनुदैर्ध्य मोड और ज्यामितीय मापदंडों हस्तक्षेप ऑप्टिकल पथ डिजाइन के थर्मल आवृत्ति स्थिरीकरण प्रौद्योगिकी का उपयोग, SJ6000 दीर्घकालिक स्थिर, उच्च परिशुद्धता (0.विभिन्न प्रिज्म मॉड्यूल के साथ यह रैखिकता, कोण, सीधापन, सपाटता को माप सकता है।लंबवतता, और गतिशील विशेषताओं का विश्लेषण करें।
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| माप पद्धति | एकल आवृत्ति |
| लेजर आवृत्ति सटीकता | 0.05 पीपीएम |
| गतिशील कैप्चर दर | 50kHz |
| गर्म करने का समय | लगभग 6 मिनट |
| परिचालन तापमान | (0-40)°C |
| पर्यावरण की स्थिति | तापमानः (0-40)°C, आर्द्रताः 0-95% |
| भंडारण तापमान | -20°C से 70°C तक |
| सेंसर प्रकार | विनिर्देश |
|---|---|
| वायुमंडलीय तापमान सेंसर | ±0.1°C (0-40)°C, संकल्पः 0.01°C |
| सामग्री तापमान सेंसर | ±0.1°C (0-40)°C, संकल्पः 0.01°C |
| वायुमंडलीय आर्द्रता सेंसर | ± 5% (0-95%) |
| वायुमंडलीय दबाव सेंसर | ±0.1kPa (65-115) kPa |
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| माप सीमा | (0-80) मीटर |
| माप की सटीकता | 0.5 पीपीएम (0-40)°C |
| माप संकल्प | 1 एनएम |
| अधिकतम माप गति | 4m/s |
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| अक्षीय सीमा | (0-15) मीटर |
| माप सीमा | ±10° |
| सटीकता | ±(0.02%R+0.1+0.24M) ′′ (R मान दर्शाता है, इकाईः ′′; M मीटर में मापी गई लंबाई है) |
| माप संकल्प | 0.1′′ |
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| अक्षीय सीमा | (0-15) मीटर |
| सपाटता मापने की सीमा | ±1.5 मिमी |
| सटीकता | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R, μm में मान दर्शाता है; M, मीटर में मापी गई लंबाई है) |
| सब्सट्रेट आकार | 180mm समायोज्य, 360mm समायोज्य |
| माप संकल्प | 0.1μm |
| प्रकार | अक्ष सीमा | माप सीमा | सटीकता | संकल्प |
|---|---|---|---|---|
| संक्षिप्त सीधापन | (0.1-4) मी | ±3.0 मिमी | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 0.01μm |
| लम्बी सीधी | (1-20) मीटर | ±3.0 मिमी | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 0.01μm |
| प्रकार | अक्ष सीमा | माप सीमा | सटीकता | संकल्प |
|---|---|---|---|---|
| संक्षिप्त सीधापन | (0.1-3) मी | ±3.0 मिमी | ± ((2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 0.01μm |
| लम्बी सीधी | (1-15) मी | ±3.0 मिमी | ± ((2.5+2.5%R+0.08M) μm/m | 0.01μm |